Europa, Deutschland, Thüringen, Jena. Sensor für Raman2go. Leibniz-Institut für Photonische Technologien. 05.11.2018 © 2018 Sven Döring / Agentur Focus
Unsere Forschung
Das Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien (KMNT) ist eine zentrale Technologiegruppe des Leibniz-IPHT und stellt wesentliche Schlüsseltechnologien für die Forschung des gesamten Instituts bereit. Auf Basis top-down-basierter Dünnschichtprozesse entstehen chip- und waferbasierte mikro- und nanoskalige Funktionselemente mit breitem Anwendungsbezug für zahlreiche Forschungseinheiten.
Das Zentrum deckt die vollständige technologische Prozesskette ab – vom Design, der Maskenherstellung, über Lithographie, Schichtabscheidung und -strukturierung bis hin zur Aufbau- und Verbindungstechnik sowie zur Analytik. Die Arbeiten erfolgen in einer hochmodernen Reinrauminfrastruktur; zentrale Prozesse sind nach DIN EN ISO 9001:2015 qualitätsgesichert. Damit schafft das Kompetenzzentrum verlässliche technologische Grundlagen für experimentelle Forschung und instrumentelle Entwicklungen.
Das interdisziplinäre Team aus Wissenschaft, Ingenieurwesen und technischer Expertise unterstützt die Entwicklung und Herstellung von Sensoren und funktionalen Bauelementen für vielfältige Anwendungen in Photonik, Sensorik und Lebenswissenschaften. Als Enabler verbindet das KMNT technologische Exzellenz mit der zielgerichteten Unterstützung wissenschaftlicher Fragestellungen innerhalb des Instituts und darüber hinaus. Ein Schwerpunkt liegt dabei auf der Fertigung von Infrarot-Thermosensoren sowie auf der Nanostrukturierung auf Waferlevel.
Forschungsschwerpunkte
Mikro- & Nanofabrikation
im Reinraum
Top-down-Dünnschichtprozesse von Design bis Aufbau- und Verbindungstechnik auf Chip- und Waferlevel
Sensoren für IR- &
THz-Strahlung
Entwicklung und Fertigung von Strahlungs- und Thermosensoren für wissenschaftliche und industrielle Anwendungen
Plasmonische &
nanooptische Strukturen
Nanostrukturierung für plasmonische Materialien, Metamaterialien und mikro- und nanooptische Bauelemente
Quantendetektoren &
Einzelphotonensensorik
Festkörper-QuBits, supraleitende Quantendetektoren, Einzelphotonendetektoren
Mikrofluidische
Bauelemente
Mikrofluidische Strukturen für Lab-on-a-Chip-Systeme in medizinischen und lebenswissenschaftlichen Anwendungen
Material- &
Strukturanalytik
Analytische Verfahren zur Prozesskontrolle, Qualitätsabsicherung und Charakterisierung mikro- und nanoskaliger Strukturen
Kooperationen und Netzwerke
Das Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien arbeitet eng mit nahezu allen Forschungseinheiten des Leibniz-IPHT zusammen und stellt essenzielle technologische Plattformen für die Wissenschaft bereit. Als institutsweite Schlüsseltechnologie ermöglicht das Zentrum die Umsetzung komplexer Bauelemente und Sensorsysteme, die in Spektroskopie, Bildgebung, Quantentechnologien und biophotonischen Anwendungen eingesetzt werden.
Darüber hinaus unterstützt das Kompetenzzentrum kooperative Entwicklungsprojekte mit externen Forschungs- und Industriepartnern. Aktuell zählen dazu Partner wie das Institut für Physikalische Chemie der Friedrich-Schiller-Universität Jena, die IMMS GmbH, fzmb GmbH, Analytik Jena GmbH, die LUCAS instruments GmbH und microfluidic ChipShop GmbH.
Kundenspezifische Fertigungs- und Entwicklungsleistungen reichen von der gemeinsamen Prozessentwicklung bis zur prototypischen Umsetzung und Kleinserienfertigung. Beispiele hierfür sind z.B. die langjährigen Beziehungen zu den Firmen Jenoptik, Raith GmbH, LightSource und Supracon.
Durch diese enge Verzahnung von Technologieentwicklung, Qualitätssicherung und Anwendung trägt das Kompetenzzentrum maßgeblich zur Leistungsfähigkeit des Leibniz-IPHT als Forschungs- und Technologiepartner bei.
Ausgewählte Projekte
Parallele Analyse biologischer Wechselwirkungen
Multi-Interact: 2D-Sensorplattform für die zeitaufgelöste Multiparameteranalyse im Pharma- und Diagnostikbereich
Präzise Dünnschichttechnologien für beschleunigte Prozessentwicklung
ALD-Rapid: Atomlagenbeschichtung mit Subnanometer-Kontrolle zur gezielten Gestaltung optischer und elektrischer Eigenschaften
Zuverlässige Bildgebung für minimalinvasive Diagnostik
GRIN-Bendoskop: Biegeunempfindliche GRIN-Multimode-Fasern für ein holographisches Endoskop
Aktuelle Publikationen
Unser Web-Katalog
Das Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien ist auf die Fertigung von Infrarot-Thermosensoren und die Nanostrukturierung auf Waferlevel spezialisiert. Das hochqualifizierte Team von Wissenschaftler:innen, Ingenieur:innen und Laborant:innen unterstützt bei der Entwicklung und Herstellung von Sensoren für verschiedenste Anwendungen der Thermosensorik.
