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- Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Wissenschaftliches Profil
Am Kompetenzzentrum Mikro- und Nanotechnologien entstehen auf Grundlage von top-down-Dünnschichtprozessen chip- und waferbasierte mikro- und nanoskalige Funktionselemente mit querschnittsübergreifendem Anwendungsbezug für die Forschungseinheiten des Leibniz-IPHT.
Das Zentrum steht für eine der Schlüsseltechnologien des Institutes. Es besitzt mit dem Reinraum eine exzellente infrastrukturelle Ausstattung. Technologisch wird die komplette Prozesskette vom Design über die Maskenherstellung, Lithographie, Schichtherstellung und -strukturierung bis hin zur Aufbau- und Verbindungstechnik und der Analytik abgedeckt. Die Qualitätssicherung von Kernprozessen ist nach DIN EN ISO 9001:2015 zertifiziert.
Inhaltlich werden die Arbeiten von drei Gruppen durchgeführt: IR-Sensorfertigung, Mikrosystem und Nanotechnologie sowie Mikrostrukturanalytik.
Reinraum
4“ Si-Wafer mit membranbasierten Sensoren
Bestückung einer Atomic-Layer-Deposition-Anlage (ALD)
Forschungseinblicke
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Forschungsthemen
Die bearbeiteten Themen unterlegen inhaltlich interne wie auch externe Forschungsarbeiten:
- Plasmonische Nanostrukturen und optische Metamaterialien
- Strahlungssensoren für den IR- und THz-Spektralbereich
- Einzelphotonendetektoren
- Supraleitende Quantendetektoren und Festkörper-QuBits
- Mikro- und nanooptische Bauelemente
- Mikrofluidische Bauelemente
- Material- und Strukturanalytik
- Fertigung von Thermosensoren für industrielle Anwendungen
- Kundenspezifische Entwicklungen für Forschungs- und Industriepartner
Anwendungsbereiche
Erzeugung von komplexen und funktionellen Mikro- und Nanostrukturen für
- Biosensorik (Plasmonische Nanomaterialien für die oberflächenverstärkte Spektroskopie)
- Strahlungssensoren für die Wellenlängenbereiche von Röntgen bis THZ
- Mikrofluidische Bauelemente für Lab-on-a-Chip-Systeme für medizinische und lebenswissenschaftliche Fragestellungen
- Mikro- und Nanooptik
