Das Ziel des FuE-Projekts ist die Entwicklung eines breitbandigen universell einsetzbaren Siliziumnanodrahtlayers sowie dessen Integration in membranbasierte MEMS-Chips. Durch den Si-Nanodrahtlayer soll dabei ein für Absorption und Emission geeignetes universell einsetzbares Werkzeug geschaffen werden, das die Leistungsfähigkeit von NDIR-Gasmesszellen bspw. für die Gesundheitstechnologien zur Konzentrationsbestimmung bekannter Gase hinsichtlich Signal und Langzeitstabilität gegenüber bestehenden Systemen deutlich verbessert. Überprüft werden soll die Einsatzfähigkeit der MEMS-Demonstratoren durch die applikative Integration des Emitters sowie des entwickelten hochdetektiven IR-Sensors in eine bestehende NDIR-Gasmesszelle des Projektpartners MHE sowie deren vergleichende Bewertung zu den bisherigen Leistungsparametern.

Das Projekt wird gefördert durch den AiF Berlin (ZIM).