Ungekühlte Thermoelement-Luftbrückenstruktur für Anwendungen im THz-Bereich

Entwickelt wurde eine Luftbrückenstruktur, auf der ein Dünnschicht-Thermoelement angeordnet ist. Dieses Thermoelement dient gleichzeitig als Abschlusswiderstand einer Antenne und als Temperatursensor. Die Brückenstruktur wurde mittels Oberflächenmikromechanik hergestellt. Die thermischen Eigenschaften der Luftbrückenstruktur wurden durch Computersimulationen untersucht und basierend auf diesen Ergebnissen eine geeignete Technologie entwickelt, um eine hochleistungsfähige thermoelektrische Terahertz- Sensorstruktur herzustellen. Die elektrische Empfindlichkeit dieser Thermoelement-Luftbrückenstruktur wurde gemessen und daraus die NEP unter Vakuumbedingungen zu 18 pW/Hz^1/2 und an Luft zu 67 pW/Hz^1/2 bestimmt.