Charakterisierung von mit HMDSO beladenen Propan-Flammen mit-tels OES

Optische Emissionsspektroskopie (OES) wird vorwiegend zur Untersuchung von Plasmen eingesetzt. Sie eignet sich aber auch zur Charakterisierung von Flammen mit einer vorwiegend laminaren Strömung, da hier die gegenüber der laser-induzierten Fluoreszenz (LIF) längere Integrationszeit keine Rolle spielt. Hier werden OES-Messungen an einem Schlitzbrenner von SURA Instruments, wie er z.B. auch bei Innovent zur Abscheidung von SiO2-Schichten zum Einsatz kommt, vorgestellt [1]. Dünne SiO2-Schichten können kostengünstig mittels HMDSO beladenen, atmosphärischen Flammen für Anti-Reflexionsschichten (z.B. bei Solarmodulen) oder für selbstreinigende Oberflächen abgeschieden werden [1].