Das Projekt hat das Ziel, die Mikrostrukturierung des Leibniz-IPHT gerätetechnisch mit einem Maskless Aligner für einen photolithographisch bislang nicht adressierbaren Strukturgrößenbereich zu befähigen und damit zugleich mit hoher Flexibilität den stetig steigenden Anforderungen nach Auflösung, Sensitivität und Effizienz von mikrostrukturierten Komponenten für die wissenschaftlichen Innovationen des Instituts auf den Themenfeldern  Biophotonik, Bildgebung, Quantendetektion nachkommen zu können. Für diese Aufgaben muss die Mikrolithographie feiner, genauer und bei zunehmender Komplexität immer reproduzierbarer werden.

Das Vorhaben wird vom Freistaat Thüringen unter der Nummer 2023 FGI 0020 gefördert und durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) kofinanziert.

Kofinanziert von der EU
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