Structured SiN membranes as platform for cryogenic bolometers

in: Microelectronic Engineering (2009)
Anders, Solveig; May, Torsten; Zakosarenko, Vyacheslav; Starkloff, Michael; Zieger, Gabriel; Meyer, Hans-Georg
Cryogenic bolometers detect radiation by measuring the temperature increase in an appropriate absorber. To achieve sufficient detector sensitivity, we place the bolometer on a SiN membrane. Thermal coupling is further decreased by patterning the membrane in the shape of a platform suspended by several beams. We will describe the fabrication process and discuss the use of bolometer arrays for security cameras and telescopes.

Cookies & Skripte von Drittanbietern

Diese Website verwendet Cookies. Für eine optimale Performance, eine reibungslose Verwendung sozialer Medien und aus Werbezwecken empfiehlt es sich, der Verwendung von Cookies & Skripten durch Drittanbieter zuzustimmen. Dafür werden möglicherweise Informationen zu Ihrer Verwendung der Website von Drittanbietern für soziale Medien, Werbung und Analysen weitergegeben.
Weitere Informationen finden Sie unter Datenschutz und im Impressum.
Welchen Cookies & Skripten und der damit verbundenen Verarbeitung Ihrer persönlichen Daten stimmen Sie zu?

Sie können Ihre Einstellungen jederzeit unter Datenschutz ändern.