Wir adressieren den wachsenden Bedarf im Bereich der Mikro- & Nanotechnologie an Sensoren, die hohe Empfindlichkeiten mit hoher Kraftauflösung und Ortsauflösung für die Oberflächenanalyse kombinieren. Die zerstörungsfreie elektrische Analyse von Halbleiterbauelementen auf Waferebene zur Fehleranalyse und in-line Prozesskontrolle erfordert Sensoren mit einer lateralen Auflösung im Nanometerbereich. Ziel am Leibniz-IPHT ist es, einkristalline Cantilever herzustellen, die die Empfindlichkeit um etwa eine Größenordnung verbessern.

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