Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien

Die Arbeitsgruppe Mikrosystem- und Nanotechnologie hat ihren Entwicklungsschwerpunkt in innovativen mikro- und nanotechnologischen Verfahren und Prozessen zur Realisierung hochintegrierter multilagiger Struktur- und Funktionselemente für unterschiedliche Sensorkonzepte, zur Erforschung von Methoden zur Herstellung plasmonischer Nanomaterialien für biophotonische Anwendungen sowie mikro- und nanooptischer Bauelemente. Sie zeichnet verantwortlich für die Präparation und Bereitstellung mikrofluidischer Chip-Bauelemente auf Basis von Glas (Borofloat) und/oder Silizium oder Quarzglas. Erreichen die Abmaße von Materialien und Strukturen wenige tausend Atome, weisen die Materialien völlig neue physikalische Eigenschaften auf. Diese wiederum können genutzt werden, um neuartige Sensoren mit unerreichten Sensitivitäten zu realisieren. Die Umsetzung der physikalischen Vorgaben in nanoskopische Sensorkonzepte ist einer der Schwerpunkte der Gruppe, die dafür eng mit IPHT-internen und externen Forschergruppen zusammenarbeitet. Technologisch gründen sich diese Aktivitäten auf eine eng verzahnte Kombination von Dünnschichttechnologie für metallische und dielektrische Materialien, Mikrosystemtechnik und Nanolithographie. Die Expertise der Gruppe liegt vor allem in der Strukturierung komplexer mikro- und nanoskaliger Strukturen auf Waferlevel, von Prototypen bis zu Kleinstserien.