Optische Emissionsspektroskopie (OES) wird vorwiegend zur Untersuchung von Plasmen eingesetzt. Sie eignet sich aber auch zur Charakterisierung von Flammen mit einer vorwiegend laminaren Strömung, da hier die gegenüber der laser-induzierten Fluoreszenz (LIF) längere Integrationszeit keine Rolle spielt. Hier werden OES-Messungen an einem Schlitzbrenner von SURA Instruments, wie er z.B. auch bei Innovent zur Abscheidung von SiO2-Schichten zum Einsatz kommt, vorgestellt [1]. Dünne SiO2-Schichten können kostengünstig mittels HMDSO beladenen, atmosphärischen Flammen für Anti-Reflexionsschichten (z.B. bei Solarmodulen) oder für selbstreinigende Oberflächen abgeschieden werden [1].