Energiefilter für Ionenimplantation

in: Temporal Proceedings (2013)
Krippendorf, Florian; Morgenroth, Wolfgang; Csato, Constantin; Bischof, Tina; Han, Weiqi; Nobst, Michael; Schewior, Andre; Rüb, Michael; Wesch, Werner; Rupp, Roland; Ronning, Carsten
In dieser Arbeit wird ein Energiefilter für die Ionenimplantation vorgestellt. Dieser kann vorteilhaft für die Herstellung von SiC-Leistungsdioden verwendet werden, welche z.B. in Solarkonvertern eingesetzt werden. Der Filter besteht aus einer mikrostrukturierten Si-Membran. Die Funktion des Filters basiert auf der gezielten Manipulation des Implantationsprofiles monoenergetischer Ionenstrahlen. Das entwickelte Herstellungsverfahren erlaubt die Realisierung einer großen Filterfläche bei kleiner Dicke des Filters. Dies sorgt für eine hohe Effizienz bei der Implantation. Die laterale Homogenität bei der Implantation wird nachgewiesen – ebenso wie die Möglichkeit der lithografischen Abbildung der Mikrostruktur. Das entstandene Implantationsprofil wird gemessen und damit die Funktionalität des Filters nachgewiesen.

DOI: Array

Cookies & Skripte von Drittanbietern

Diese Website verwendet Cookies. Für eine optimale Performance, eine reibungslose Verwendung sozialer Medien und aus Werbezwecken empfiehlt es sich, der Verwendung von Cookies & Skripten durch Drittanbieter zuzustimmen. Dafür werden möglicherweise Informationen zu Ihrer Verwendung der Website von Drittanbietern für soziale Medien, Werbung und Analysen weitergegeben.
Weitere Informationen finden Sie unter Datenschutz und im Impressum.
Welchen Cookies & Skripten und der damit verbundenen Verarbeitung Ihrer persönlichen Daten stimmen Sie zu?

Sie können Ihre Einstellungen jederzeit unter Datenschutz ändern.