Dünne SiO2-Schichten können kostengünstig mittels z.B. HMDSO beladenen Flammen unter atmosphärischem Druck abgeschieden werden [1]. Derartige Schichten benötigt man für Anti-Reflexionsschichten (z.B. bei Solarmodulen) oder auch für selbstreinigende Oberflächen [1]. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurden HMDSO/Propan/Luft-Flammen (siehe [2,3,4]), wie sie auch im industriellen Umfeld zum Einsatz kommen, mittels Laser-induzierter Breakdown-Spektroskopie (LIBS, [5]) untersucht. Bei den Messungen wurde der Fokus auf den Nachweis von Silizium-Verteilungen gelegt.