Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien

Die Aufgabe der Arbeitsgruppe IR-Sensorfertigung liegt in der Produktion von Dünnschicht-Thermosensoren für ein breites Einsatzspektrum in der berührungslosen Messtechnik. Die Sensoren beruhen auf dem thermoelektrischen Wandlungsprinzip unter Nutzung von hocheffektiven V/VI-Verbindungshalbleitern. Sie erfüllen den Anspruch höchster Detektivität für Anwendungen in den Lebenswissenschaften wie der Medizintechnik, der MIR-Spektroskopie und der Pyrometrie und kommen auch in Spezialentwicklungen für zahlreiche Weltraummissionen zum Einsatz. Die Sensoren weisen eine hohe Linearität über fünf Größenordnungen auf. Basierend auf der am Leibniz-IPHT etablierten technologischen Plattform werden neben den photonischen Detektoren auch Dünnschicht-Peltierkühler für die Messung geringster Wassermengen und damit einhergehend sehr niedriger Taupunkttemperaturen gefertigt. Ein Alleinstellungsmerkmal hat die Arbeitsgruppe durch die Fertigung von AC-DC-Thermokonvertern, die in Zusammenarbeit mit der PTB Braunschweig als Sekundärstandard Einsatz finden. Hierfür steht die Gruppe weltweit als einziger Zulieferer für nationale Metrologie-Institute zur Verfügung. Die Sensoren werden im Reinraum des Leibniz-IPHT unter Verwendung modernster MEMS-Methoden auf Silizium-Wafern hergestellt, charakterisiert, vereinzelt und mittels AVT-Methoden kundenspezifisch aufgebaut und verkapselt. Die Qualitätssicherung der Kernprozesse erfolgt nach DIN EN ISO 9001:2015.